机译:在等离子刻蚀之前通过初始层沉积在聚合物上创建抗反射纳米结构
机译:通过RF等离子CVD在Si衬底上沉积类金刚石碳膜的初始阶段以及通过氧等离子刻蚀去除表面下层的X射线反射率分析
机译:滚轧等离子蚀刻聚合物薄膜产生的纳米结构
机译:利用工业等离子体增强化学气相沉积(PECVD)的氮化硅(SIN
机译:含有金属硼化物界面层的血浆增强化学气相沉积作为纳米钴金刚钴和WC-Co的纳米结构金刚石生长的扩散屏障
机译:通过化学蚀刻和通过原子层沉积(ALD)沉积二氧化钛薄膜在纳米钛表面上形成微结构和纳米结构
机译:通过原子层沉积(aLD)化学蚀刻和沉积二氧化钛薄膜在纳米钛表面上形成微米和纳米结构